1、制绒工艺废气

在制绒工艺过程中，废气源主要为制绒机,废气种类因工艺不同而有区别，一般主要废气为:制绒氢氧化钠NaOH、KOH废气比较多一点 ,多晶制绒氮氧化物NOX比较多一点，还有少量HF等废气。

处理工艺:
氮氧化物浓度较高的采用四级串联高浓度酸雾净化塔,添加氢氧化钠、硫化钠进行洗涤处理;氮氧化物浓度较低的采用两级串联酸雾净化塔,添加氢氧化钠进行洗涤处理。

主要特点:
净化效率高,结构紧凑，耐腐蚀，耐老化性能好,自动化控制，操作简单 ,广泛应用于太阳能、电子半导体等行业。

2、扩散工艺废气、去磷硅玻璃、刻蚀工艺废气

扩散工艺涉及的设备主要是:扩散炉，其中酸性废气为盐酸雾HCl及少量氯气Cl2。去磷硅玻璃、刻蚀工艺涉及的主要设备为刻蚀机、硅片清洗机等，产生主要酸性废气为HF、CF4、SiF4等，采用酸雾净化塔，添加氢氧化钠进行洗涤处理。

主要特点:
净化效率高，结构紧凑，耐腐蚀 ,耐老化性能好，广泛应用于太阳能、电子半导体等行业。